全省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室依托西北工业大学宁波研究院智能传感芯片技术研究中心成立，实验室现有8英寸MEMS前道工艺加工线，重点聚焦光学微系统及应用技术领域，设立光谱/偏振MEMS滤光芯片晶圆级制造工艺研究、压电声感MEMS芯片晶圆级制造工艺研究、多功能光学MEMS芯片异构集成制造工艺研究等研究方向，面向物联网、工业检测、安防监控、智慧城市、...
2025-09-19
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